可見(jiàn)光譜橢偏儀Smart SE

產(chǎn)(chǎn)品詳細(xì)(xì)介紹

概要

プッシュボタン感覚で、1nm～15μmの膜厚範(fàn)(fàn)囲の単層膜から多層膜までのサンプル測(cè)定が可能です。
波長(zhǎng)450nm-1000nmをカバーしたデータ採(cǎi)取により、薄膜の膜厚、光學(xué)(xué)定數(shù)(shù)（屈折率、消衰係數(shù)(shù)）などの物質(zhì)(zhì)特性を精度良く測(cè)定します。
誘電體や有機(jī)(jī)薄膜など様々な材料の測(cè)定が可能です。
イメージングシステム“MyAutoView^TM”を搭載し、サンプル表面狀態(tài)(tài)や測(cè)定スポットの厳密な位置確認(rèn)(rèn)が可能です。

測(cè)定方式	液晶変調(diào)(diào)方式
光源	ハロゲンランプおよび青色LED
波長(zhǎng)範(fàn)(fàn)囲	450nm-1000nm
分光器	迷光を最小に抑えた小型スペクトログラフ（分解能：3nm以下）
検出器	高感度?高安定リニアＣＣＤ（2048ピクセル）
入射角度	70度固定?。?5度-90度の範(fàn)(fàn)囲より5度刻みで変更可）
スポットサイズ（70度入射時(shí)(shí)）	75μm X 150μm, 100μm X 250μm, 100μm X 500μm,150μm X 150μm, 250μm X 250μm, 250μm X 500μm,500μm X 500μm　　※いずれも長(zhǎng)方形
サンプルステージ	直徑200mmまでのサンプルに対応 Z軸：max.17mm（手動(dòng)可変）
サンプル観察系	イメージングシステム MyAutoView^TM ソフトウェア上にてスポット位置確認(rèn)(rèn) カラー2次元CCD 視野範(fàn)(fàn)囲：2mm×6mm@70度入射
操作PC	デスクトップPC、TFTモニタ
ソフトウェア	分光エリプソメータ測(cè)定およびデータ解析用DeltaPsi2
裝置寸法（操作PC除く）	裝置本體：W840mm×D230mm×H340mm@70度入射コントローラ：W302mm×D251mm×H130mm

電動(dòng)ゴニオメータ	入射角度の電動(dòng)可変（可変範(fàn)(fàn)囲：45度-90度）
電動(dòng)X-Yステージ	200mmウェハ、もしくは 300mmウェハ対応
In-Situ測(cè)定用アダプタ	プロセスチャンバー取付用フランジ
アクセサリ	溫度可変測(cè)定用ステージ、溶液測(cè)定用セル

電源	AC100V±5%未満?。?biāo)準(zhǔn)(zhǔn)消費(fèi)(fèi)電力：200W）

<fieldset id="sme0q"></fieldset>